直到2014年，徐腾的银魅计划和华腾工业联合体依然存在着一些缺失的领域，半导体应用材料的缺失比例就比较大，光刻机也是其中之一，而且是致命性的缺失

    从2003年开始，徐总就已经在徐腾的建议下，用最强势的投资推动国内的光刻机产业发展，同时和光电所、微电所合资了两家高科技企业

    2008年以后，这两家企业陆续纳入华腾科学发展基金会的旗下投资项目，2012年整合为一家沪州华微光电科技公司，基本是组建了国内光刻机领域的梦之队，在比利时拥有分支研究机构，与IMEC合作

    2013年，华微光电公司终于实现国内45nm超高精度光刻机的工业化产能，基本解决军工需求，确保ASML必须对华出口28nm/22nm/20nm这一代的光刻机

    这是在半导体制程领域起决定性作用的前道光刻机市场，落后ASML整整两代，最大的好消息是光源可以国产化，这其实是最关键的，不用被蔡司卡脖